Máy và thiết bị chỉ sử dụng hoặc chủ yếu sử dụng để sản xuất các khối bán dẫn hoặc tấm bán dẫn mỏng, linh kiện bán dẫn, mạch điện tử tích hợp hoặc màn hình dẹt; máy và thiết bị nêu ở Chú giải 11 (C) của Chương này; bộ phận và phụ kiện

848620 — Máy và thiết bị để sản xuất linh kiện bán dẫn hoặc mạch điện tử tích hợp:

Machines and apparatus for the manufacture of semiconductor devices or of electronic integrated circuits: