Máy hiện sóng, máy phân tích phổ và các dụng cụ và thiết bị khác để đo hoặc kiểm tra đại lượng điện, trừ các loại máy thuộc nhóm 90.28; các thiết bị và dụng cụ đo hoặc phát hiện tia alpha, beta, gamma, tia X, bức xạ vũ trụ hoặc các bức xạ ion hóa khác › Dụng cụ và thiết bị khác

9030.82 — Để đo hoặc kiểm tra các vi mạch hoặc linh kiện bán dẫn (kể cả mạch tích hợp):

For measuring or checking semiconductor wafers or devices (including integrated circuits):